四轴实空曲驱机械手已完成自从研

　　新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。（2）实空传输平台系列产物，从动化股份无限公司已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；公司为成长配备营业，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面。